[实用新型]一种单晶体硅加工用转移装置

权利要求书

1.一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨（3）和吸盘（13），其特征在于：所述滑轨（3）平行设置有两个，所述滑轨（3）的两端均固定连接于固定板（1），所述滑轨（3）上滑动连接有滑套（2），所述滑套（2）的底端与顶板（6）固定连接，所述顶板（6）的下表面通过液压杆（7）固定连接于支架（8）的一端，所述支架（8）的另一端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）下表面通过弹簧（14）连接于吸盘（13），所述吸盘（13）上连接有气管（12），所述顶板（6）的上表面中心处固定连接有滑块（10），所述滑块（10）与丝杆（9）螺纹连接，所述丝杆（9）的一端连接于步进电机（4）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述吸盘（13）的中部设有空腔，所述吸盘（13）的下表面设置有一层橡胶防滑层，所述吸盘（13）的下表面设置有连通于空腔的气孔（15）。

3.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述气管（12）包括进气管（121）和出气管（123），所述进气管（121）的另一端与鼓风机（122）连接，所述出气管（123）的另一端与真空泵（124）连接。

4.根据权利要求3所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述鼓风机（122）与滑轨（3）上固定的接触开关（5）电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述弹簧（14）沿着吸盘（13）上表面边缘等间隔分布。

6.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述丝杆（9）的两端分别与固定板（1）转动连接，所述步进电机（4）固定在远离吸盘（13）一侧的固定板（1）上。