[实用新型]一种防止反应腔尾管阻塞的装置有效
| 申请号： | 201720629797.0 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN207294883U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陆华 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防止反应腔尾管阻塞的装置，所述装置包括至少一根气体通入管道，所述气体通入管道安装在所述反应腔的尾管上，通过所述气体通入管道往所述尾管中通入具有一定温度的保护性气体。本实用新型通过在尾管中通入具有一定温度的保护性气体，加速反应气体的流动，从而可以减少和降低反应气体中副产物在反应腔尾管的沉积和结晶，进而减少对反应腔体尾管的清理频率，减少人力物力，增加设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 反应 腔尾管 阻塞 装置 | ||
【主权项】：
一种防止反应腔尾管阻塞的装置，其特征在于，所述装置包括至少一根气体通入管道，所述气体通入管道安装在所述反应腔的尾管上，通过所述气体通入管道往所述尾管中通入具有一定温度的保护性气体，所述保护性气体的温度在50～80℃。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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