[实用新型]一种单晶硅截断机的自动上料装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶硅截断机的自动上料装置。该折弯装置包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置的水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条。该自动上料装置的上料机械手装置和晶托组件联合应用，能够完全实现机械手抓取后的连续化运输单晶硅，使单晶硅截断工艺的完全生产的机械化和自动化带来可能。

主权项

一种单晶硅截断机的自动上料装置，其特征在于：包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置包括水平移动件和机械手夹紧件，其中，水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条；机械手夹紧件包括固定在第一直线导轨上且能够沿第一直线导轨水平移动的机械手支架、安装在机械手支架上的夹爪固定板、安装在夹爪固定板上的夹爪伺服电机、固定安装在夹爪伺服电机转动轴上的第二齿轮、与第一齿轮相齿合的两条相向移动的第二齿条、安装在夹爪固定板两侧两条相互并行的第二直线导轨、以及安装在第二直线导轨上的夹爪机械手。