[实用新型]一种单晶硅截断机的自动上料装置

权利要求书

1.一种单晶硅截断机的自动上料装置，其特征在于：包括支撑架、上料机械手装置和晶托组件；上料机械手装置包括水平移动件和机械手夹紧件，其中，水平移动件包括安装在支撑架顶部平台上的两条相互平行的第一直线导轨、移动伺服电机、固定安装在移动伺服电机转动轴上的第一齿轮、以及与第一齿轮相齿合的第一齿条；机械手夹紧件包括固定在第一直线导轨上且能够沿第一直线导轨水平移动的机械手支架、安装在机械手支架上的夹爪固定板、安装在夹爪固定板上的夹爪伺服电机、固定安装在夹爪伺服电机转动轴上的第二齿轮、与第一齿轮相齿合的两条相向移动的第二齿条、安装在夹爪固定板两侧两条相互并行的第二直线导轨、以及安装在第二直线导轨上的夹爪机械手。

2.如权利要求1所述的自动上料装置，其特征在于：水平移动件上还包括起保护作用的风琴护罩；机械手夹紧件通过安装在第一直线导轨上的滑块横向移动；夹爪机械手通过安装板和滑块安装在第二直线导轨上。

3.如权利要求1所述的自动上料装置，其特征在于：晶托组件包括安装在支撑架底部平台的夹具底座、安装于夹具底座上的至少两套浮动支撑单元、以及安装在两套浮动支撑单元之间的滚筒组件，其中，浮动支撑单元包括锁紧气缸和锁紧气缸固定连接的支撑块；滚筒组件包括安装在夹具底座上的滚筒轴承固定座和在固定座之间的滚筒轴承。

4.如权利要求3所述的自动上料装置，其特征在于：每组浮动支撑单元通过支撑法兰与夹具底座固定连接，支撑法兰通过螺钉与夹具底座固定连接，所述支撑法兰与支撑块之间还设置有伸缩弹簧；滚筒轴承固定座通过螺钉安装在夹具底座上。

5.如权利要求3所述的自动上料装置，其特征在于：所述支撑架底部平台上还安装有第三直线导轨和密封防护的保护罩，所述晶托组件通过安装在第三直线导轨上的滑块横向移动。