[实用新型]烟火监测型硅片制绒清洗机

摘要

本实用新型提供了一种烟火监测型硅片制绒清洗机，包括机体，机体内固定有反应回收槽和气路装置，反应回收槽内固定有加热器，加热器与控制器线路连接，反应回收槽上表面转动连接有槽体自动开合门，机体上顶面固定有红外烟火探测器；气路装置出气管路，出气管路位于机体外部段内设有风阀，风阀外部具有出风口；反应回收槽侧边还固定有气动阀，外部供气管路内填充有惰性气体；风阀、气动阀、加热器和红外烟火探测器分别与控制器线路连接并由控制器控制。本实用新型在红外烟火探测器监测到烟火时，可及时通过气动阀向制绒清洗机内冲入惰性气体，避免挥发的酸液或碱液燃烧，有效避免安全隐患，减少安全事故，保证生产安全。

主权项

一种烟火监测型硅片制绒清洗机，用于对硅片表面进行加工，包括封闭式的机体(1)，所述机体(1)内固定安装有反应回收槽(2)和固定在反应回收槽(2)侧边的气路装置，反应回收槽(2)内固定有加热器(3)，加热器(3)与设置在机体(1)上的控制器线路连接，其特征在于：所述的反应回收槽(2)上表面转动连接有槽体自动开合门(4)，机体(1)上顶面对应槽体自动开合门(4)处固定有红外烟火探测器(5)；所述的气路装置包括连通反应回收槽(2)上表面开口处与机体(1)外部的出气管路(6)，所述出气管路(6)位于机体(1)外部段内设有风阀(7)，风阀(7)外部具有出风口(8)；所述反应回收槽(2)侧边还固定有与外部供气管路连通的气动阀(9)，所述外部供气管路内填充有惰性气体；所述风阀(7)、气动阀(9)、加热器(3)和红外烟火探测器(5)分别与控制器线路连接并由控制器控制。