[实用新型]一种粉尘处理系统有效
| 申请号： | 201720600742.7 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN207012690U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 石建东 | 申请（专利权）人： | 广东瑞芯源技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/76;B01D53/78 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司44228 | 代理人： | 罗晓聪 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区桂城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种粉尘处理系统，包括长膜设备、粉尘收集室、真空泵与尾气处理装置，所述长膜设备包括壳体、支座、进料单元与排气管，所述排气管还连接粉尘收集室用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室通过输送管连接尾气处理装置用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置内进行处理，并在输送管上设置有真空泵用于将反应过程中的尾气经粉尘收集室抽进尾气处理装置内；本实用新型中在尾气排向尾气处理装置的过程中，先将尾气排进一收集室内将尾气中的粉尘过滤收集，使尾气过滤后不带有粉尘，然后将过滤后的尾气排进尾气处理装置内进行处理，如此可防止尾气中的粉尘损坏真空泵以及尾气处理装置，延长真空泵与尾气处理装置的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粉尘 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种粉尘处理系统，其特征在于：包括长膜设备、粉尘收集室（2）、真空泵（3）与尾气处理装置（5），所述长膜设备包括壳体（11）、支座（12）、进料单元（13）与排气管（14），所述进料单元（13）连接壳体（11）用于向壳体（11）喷出反应物，所述壳体（11）内设置有支座（12），所述支座（12）上设置有多个晶圆（121）用于与进料单元（13）喷出的反应物发生反应形成膜层，所述排气管（14）连接壳体（11）用于将壳体（11）内的气体排走，且在排气管（14）上设置有用于调节壳体（11）内气压的压力阀（141）；所述排气管（14）还连接粉尘收集室（2）用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室（2）通过输送管（4）连接尾气处理装置（5）用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置（5）内进行处理，并在输送管（4）上设置有真空泵（3）用于将反应过程中的尾气经粉尘收集室（2）抽进尾气处理装置（5）内。
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