[实用新型]一种粉尘处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其是涉及一种粉尘处理系统。

背景技术

在CVD等长膜工艺中，均会产生尾气，此时便需要对尾气进行处理才可将其排走，否则会污染环境；而尾气中会夹带着许多有害杂质，因此尾气需要特定的装置将其先进行处理，而在尾气到尾气处理装置的过程中需要通过真空泵等将尾气输送至处理装置内，而由于尾气中夹带粉尘等杂志会直接腐蚀损坏泵，会降低泵的使用寿命。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于一种可预见将粉尘过滤收集的粉尘处理系统。

为实现上述目的，本实用新型提供的方案为：一种粉尘处理系统，包括长膜设备、粉尘收集室、真空泵与尾气处理装置，所述长膜设备包括壳体、支座、进料单元与排气管，所述进料单元连接壳体用于向壳体喷出反应物，所述壳体内设置有支座，所述支座上设置有多个晶圆用于与进料单元喷出的反应物发生反应形成膜层，所述排气管连接壳体用于将壳体内的气体排走，且在排气管上设置有用于调节壳体内气压的压力阀；

所述排气管还连接粉尘收集室用于将尾气中的粉尘过滤收集，所述粉尘收集室通过输送管连接尾气处理装置用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置内进行处理，并在输送管上设置有真空泵用于将反应过程中的尾气经粉尘收集室抽进尾气处理装置内。

进一步地，所述进料单元包括至少两条进料管。

本方案的有益效果为：可先对尾气内的粉尘进行处理，本方案中在尾气排向尾气处理装置的过程中，先将尾气排进一收集室内将尾气中的粉尘过滤收集，使尾气过滤后不带有粉尘，然后将过滤后的尾气排进尾气处理装置内进行处理，如此可防止尾气中的粉尘损坏真空泵以及尾气处理装置，延长真空泵与尾气处理装置的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构图。

其中，11为壳体，12为支座，121为晶圆，13为进料单元，14为排气管，141为压力阀，2为粉尘收集室，3为真空泵，4为输送管，5为尾气处理装置。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明：

参见附图1所示，一种粉尘处理系统，包括长膜设备、粉尘收集室2、真空泵3与尾气处理装置5，长膜设备包括壳体11、支座12、进料单元13与排气管14，进料单元13连接壳体11用于向壳体11喷出反应物（具体地，进料单元设置于壳体11的一侧（在本实施例中为上侧），并连接壳体11，进料单元13为至少两条进料管），壳体11内设置有支座12，支座12上设置有多个晶圆121用于与进料单元13喷出的反应物发生反应形成膜层（反应物为气体或气态液体），排气管14连接壳体11用于将壳体11内的气体排走，且在排气管14上设置有用于调节壳体内气压的压力阀141（具体地，排气管14设置于壳体11的一侧（在本实施例中为右侧），并连接壳体11）；压力阀141可为自力式平衡阀、流量控制阀、流量控制器、动态平衡阀、流量平衡阀其中的一种。

排气管14还连接粉尘收集室2用于将尾气中的粉尘过滤收集，粉尘收集室2通过输送管4连接尾气处理装置5用于将经粉尘处理的尾气排进尾气处理装置5内进行处理（即输送管4一端连接粉尘收集室2，另一端连接尾气处理装置5），并在输送管4上设置有真空泵3用于将反应中产生的尾气经粉尘收集室2抽进尾气处理装置5内。

本实施例的工作过程：先将多个晶圆121平放于支座12上并对壳体11进行抽真空，然后启进料单元13，使进料单元13向壳体11内喷出反应物，反应物进入壳体11内混合，在特定的环境条件下（如温度、压力、电离条件下），发生化学反应，反应产物沉积到晶圆表面形成膜层；而在化学反应的过程中会产生带粉尘的尾气，而带粉尘的尾气通过真空泵3经排气管14排出壳体11内，然后尾气通过真空泵3作用先进入粉尘收集室2内；待粉尘收集室2内将尾气中的粉尘过滤收集使尾气不带粉尘后，将不带粉尘的尾气通过真空泵3经输送管4输送至尾气处理装置5内进行尾气处理。

以上所述之实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案作出更多可能的变动和润饰，或修改均为本实用新型的等效实施例。故凡未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型之思路所作的等同等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围内。