[实用新型]一种压电式麦克风有效
申请号: | 201720575489.4 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN206908855U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H04R17/02 | 分类号: | H04R17/02 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人: | 王昭智,马佑平 |
地址: | 261031 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压电式麦克风,包括具有背腔的衬底,以及通过绝缘层连接在衬底上方的压电膜;在所述压电膜上位于压电膜与衬底连接点内侧的位置设置有多个镂空孔,所述压电膜上的镂空孔至少部分地与衬底重叠在一起,所述压电膜上镂空孔的位置与衬底之间具有间隙,所述间隙与镂空孔一起被构造为通道。相对传统的镂空结构而言,本实用新型的间隙可以阻碍声音直接通过镂空孔传出,从而可以大大降低该压电式麦克风低频信号、中频信号的泄漏量,提高了压电式麦克风的性能。而且该间隙还可有效防止粉尘、微粒、水入侵对芯片产生伤害。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 麦克风 | ||
【主权项】:
一种压电式麦克风,其特征在于:包括具有背腔(10)的衬底(1),以及通过绝缘层(2)连接在衬底(1)上方的压电膜(3);在所述压电膜(3)上位于压电膜(3)与衬底(1)连接点内侧的位置设置有多个镂空孔(4),所述压电膜(3)上的镂空孔(4)至少部分地与衬底(1)重叠在一起,所述压电膜(3)上镂空孔(4)的位置与衬底(1)之间具有间隙(5),所述间隙(5)与镂空孔(4)一起被构造为通道。
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