[实用新型]一种压电式麦克风

权利要求书

1.一种压电式麦克风，其特征在于：包括具有背腔(10)的衬底(1)，以及通过绝缘层(2)连接在衬底(1)上方的压电膜(3)；在所述压电膜(3)上位于压电膜(3)与衬底(1)连接点内侧的位置设置有多个镂空孔(4)，所述压电膜(3)上的镂空孔(4)至少部分地与衬底(1)重叠在一起，所述压电膜(3)上镂空孔(4)的位置与衬底(1)之间具有间隙(5)，所述间隙(5)与镂空孔(4)一起被构造为通道。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述多个镂空孔(4)环绕所述衬底(1)的背腔(10)分布。

3.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述衬底(1)与压电膜(3)之间的绝缘层(2)呈连续不间断的环状结构。

4.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述衬底(1)与压电膜(3)之间的绝缘层(2)呈间断的环状结构。

5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于：所述镂空孔(4)贯通至压电膜(3)的边缘，所述镂空孔(4)相对分布在间断的两个绝缘层(2)之间。

6.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电膜(3)上镂空孔(4)至压电膜(3)中心之间的部分与衬底(1)重叠在一起。

7.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电膜(3)与衬底(1)之间的间隙(5)为0.5um～3um。

8.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述镂空孔(4)呈圆形、矩形、椭圆形、扇形或梯形。

9.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电膜(3)依次包括复合在一起的第一电极层(30)、压电材料中间层(31)、第二电极层(32)。

10.根据权利要求9所述的压电式麦克风，其特征在于：所述第一电极层(30)、压电材料中间层(31)、第二电极层(32)通过沉积的方式复合在一起。