[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720539470.4 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN206908774U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;蔡孟錦;周宗燐 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R19/04;H04R7/04;G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种感测膜片以及MEMS麦克风，在所述感测膜片的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在感测膜片的周向方向上；其中，所述感测膜片上相邻两个梳齿部之间的位置为用于连接的连接部。本实用新型的麦克风，由于感测膜片的梳齿部区域与衬底之间形成了连通外界的缺口，感测膜片受到的声压可以通过该缺口快速进行泄压，以迅速均衡麦克风内外腔体的气压。而且梳齿部可以根据自身的受压情况发生形变，从而可实时依据受到的过载声压来调整泄压路径的尺寸，以此保护感测膜片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 以及 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种感测膜片(2b)，其特征在于：在所述感测膜片(2b)的边缘位置形成有多个梳齿部(22b)，所述多个梳齿部(22b)间隔分布在感测膜片(2b)的周向方向上；其中，所述感测膜片(2b)上相邻两个梳齿部(22b)之间的位置为用于连接的连接部(21b)。
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