[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种感测膜片，尤其涉及一种适用于发声的感测膜片；本实用新型还涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

MEMS感测组件现已应用普及在消费性电子产品中，如何加快产品生产工艺是目前零组件供货商关注的焦点，例如手机生产组装过程中所产生的灰尘碎削通过气枪直接清理，是目前成本最低的方案。因此对MEMS传感器必须提出大声压或大气压的抗吹气改善方案，避免在组装过程，因气枪清理导致麦克风发生破裂失效。

目前的改善方案为在MEMS麦克风的感测膜片上设置泄压孔或者泄压阀结构。但是泄压孔的结构会减少感测膜片的有效面积。在感测膜片中部区域设置的泄压阀结构会受到尺寸的限制，其泄压能力有限；而且还会直接影响感测膜片的振动特性，尤其影响感测膜片的低频特性；感测膜片的动态稳定性比较差。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供了一种感测膜片。

根据本实用新型的一个方面，提供一种感测膜片，在所述感测膜片的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在感测膜片的周向方向上；其中，所述感测膜片上相邻两个梳齿部之间的位置为用于连接的连接部。

可选地，所述感测膜片包括感测膜片主体，所述连接部为从感测膜片主体边缘向外延伸的径向凸起，所述梳齿部设置在感测膜片主体上位于相邻两个连接部之间的位置。

可选地，所述每个梳齿部包括至少一个通过刻蚀感测膜片主体形成的泄气阀瓣。

可选地，所述泄气阀瓣呈矩形、扇形、椭圆形、梯形或者S型。

可选地，所述感测膜片主体与连接部通过MEMS工艺一体成型。

可选地，所述梳齿部的自由端延伸至感测膜片的外侧边缘，并与所述感测膜片的外侧边缘齐平，或者相对于感测膜片的外侧边缘呈内缩状态。

可选地，所述梳齿部的自由端相对于感测膜片的外侧边缘呈径向凸起状态。

根据本实用新型的另一方面，还提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底以及位于衬底上方的背极、上述的感测膜片。

可选地，所述感测膜片上相邻两个梳齿部之间的连接部通过绝缘层连接在衬底上；所述感测膜片上的梳齿部完全悬置在衬底背腔的上方，且感测膜片上梳齿部的区域与衬底之间构成了供气流通过的缺口。

可选地，所述背极与感测膜片的形状一致。

本实用新型的麦克风，由于感测膜片的梳齿部区域与衬底之间形成了连通外界的缺口，感测膜片受到的声压可以通过该缺口快速进行泄压，以迅速均衡麦克风内外腔体的气压。而且梳齿部可以根据自身的受压情况发生形变，从而可实时依据受到的过载声压来调整泄压路径的尺寸，以此保护感测膜片。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例，并且连同说明书一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本实用新型麦克风从感测膜片与衬底连接位置的剖面图。

图2是本实用新型感测膜片的结构示意图。

图3是图2中梳齿部的局部放大图。

图4至图5是本实用新型麦克风两种不同的操作状态。

图6是本实用新型感测膜片另一实施结构的示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

本实用新型提供的一种感测膜片，其可以是应用在麦克风结构中的感测膜片，也可以是应用在其它传感器结构中的敏感膜，例如压力传感器、气体传感器中的敏感膜层。这些感测膜片的结构、材质、应用环境均属于各传感器领域的公知常识，在此不再具体说明。