[实用新型]一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置有效
| 申请号： | 201720464518.X | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206780193U | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，属于抛光装置技术领域。本实用新型包括PH检测装置和PLC控制器，PH检测装置放置于抛光液桶内，PH检测装置的输出端与PLC控制器连接，抛光液桶通过送液管连接有补液桶，送液管上安装有电磁阀，电磁阀与PLC控制器电连接。送液管靠近抛光液桶的一端还连接有注射泵，注射泵与PLC控制器连接，PH检测装置采用PH电极，补液桶内液体为氢氧化钾，与现有技术相比，通过控制器和电磁阀自动控制是否添加氢氧化钾溶液，通过注射泵精准控制添加溶液剂量，使得二氧化硅抛光液PH值稳定，从而稳定抛光去除率，得到高质量的蓝宝石晶片表面光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 单面 抛光 表面光洁度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，其特征在于：包括PH检测装置(6)和PLC控制器(5)，PH检测装置(6)放置于抛光液桶(1)内，PH检测装置(6)的输出端与PLC控制器(5)连接，抛光液桶(1)通过送液管(3)连接有补液桶(2)，所述的送液管(3)上安装有电磁阀(4)，电磁阀(4)与PLC控制器(5)电连接。
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