[实用新型]一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置有效
| 申请号： | 201720464518.X | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206780193U | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 单面 抛光 表面光洁度 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，其特征在于：包括PH检测装置(6)和PLC控制器(5)，PH检测装置(6)放置于抛光液桶(1)内，PH检测装置(6)的输出端与PLC控制器(5)连接，抛光液桶(1)通过送液管(3)连接有补液桶(2)，所述的送液管(3)上安装有电磁阀(4)，电磁阀(4)与PLC控制器(5)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，其特征在于：送液管(3)靠近抛光液桶(1)的一端还连接有注射泵(7)，注射泵(7)与PLC控制器(5)连接。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，其特征在于：所述的PH检测装置(6)采用PH电极。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单面抛光表面光洁度控制装置，其特征在于：所述的抛光液桶(1)内溶液为二氧化硅抛光液，补液桶(2)内溶液为氢氧化钾。
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