[实用新型]光检测器测量设备有效
| 申请号： | 201720463626.5 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206756310U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘朋;刘琦;陈致远 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/16 | 分类号： | G01J1/16 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙)31291 | 代理人： | 侯莉,毛立群 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光检测器测量设备，包括探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。本实用新型的光检测器测量设备可以改进晶圆级光检测器的测量效果。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种光检测器测量设备，包括：探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。
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