[实用新型]一种具有闭环功能的微力加载机构有效
| 申请号： | 201720462150.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN207036312U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 赵晓锋;李森;刘媛媛;艾春鹏 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙)11426 | 代理人： | 谈俊,刘冬梅 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有闭环功能的微力加载机构，其中，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，在电场作用下，所述压电驱动结构(211)驱使悬臂梁(21)的自由端发生位移，对样品施加微力，同时，悬臂梁(21)的根部发生变形，压敏检测结构(212)因其根部的形变产生输出电压，能够测量对样品施加的微力。本实用新型所述微力加载机构可以对样品施加微力，并且其实现了闭环功能，可以对产生的微力及时地进行反馈，且其制作工艺简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 闭环 功能 加载 机构 | ||
【主权项】：
一种具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，所述压电驱动结构(211)由下而上依次包括绝缘层(2111)、底电极(2112)、双层压电子结构(2113)和顶电极(2114)，所述双层压电子结构(2113)自下而上依次包括第一压电薄膜材料层(21131)、中间电极(21132)和第二压电薄膜材料层(21133)；所述压敏检测结构(212)由四个压敏电阻构成，分别为第一压敏电阻(R1)、第二压敏电阻(R2)、第三压敏电阻(R3)和第四压敏电阻(R4)；悬臂梁(21)与U型支撑架1连接的一端为悬臂梁(21)的根部，另一端为悬臂梁(21)的自由端。
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