[实用新型]一种具有闭环功能的微力加载机构

权利要求书

1.一种具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述机构包括U型支撑架(1)，在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21)，其中，在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211)，在所述悬臂梁(21)的根部设置有压敏检测结构(212)；其中，

所述压电驱动结构(211)由下而上依次包括绝缘层(2111)、底电极(2112)、双层压电子结构(2113)和顶电极(2114)，所述双层压电子结构(2113)自下而上依次包括第一压电薄膜材料层(21131)、中间电极(21132)和第二压电薄膜材料层(21133)；

所述压敏检测结构(212)由四个压敏电阻构成，分别为第一压敏电阻(R₁)、第二压敏电阻(R₂)、第三压敏电阻(R₃)和第四压敏电阻(R₄)；

悬臂梁(21)与U型支撑架1连接的一端为悬臂梁(21)的根部，另一端为悬臂梁(21)的自由端。

2.根据权利要求1所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，在所述悬臂梁(21)的自由端处向下设置有微力加载触点(22)。

3.根据权利要求1所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述底电极(2112)为Ti/Pt电极，所述顶电极(2114)为Pt电极，所述中间电极(21132)为Pt电极。

4.根据权利要求1所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述第一压电薄膜材料层(21131)和所述第二压电薄膜材料层(21133)均采用ZnO薄膜材料。

5.根据权利要求4所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述第一压电薄膜材料层(21131)和所述第二压电薄膜材料层(21133)均采用Li掺杂的ZnO薄膜材料。

6.根据权利要求1所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述四个压敏电阻构成惠斯通桥结构。

7.根据权利要求1至6之一所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述U型支撑架(1)的高度为450～525μm。

8.根据权利要求1至6之一所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述悬臂梁(21)的厚度为5～20μm。

9.根据权利要求8所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述悬臂梁(21)的厚度为5～15μm。

10.根据权利要求9所述具有闭环功能的微力加载机构，其特征在于，所述悬臂梁(21)的厚度为5～8μm。