[实用新型]一种用于板式PECVD设备的石墨框有效
| 申请号： | 201720460836.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206685356U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 陈艺超;郑旭然;潘励刚;姜大俊;杨超;罗本前;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的承载孔，所述承载孔由位于石墨框四周的边缘框条和位于石墨框中间的中央框条纵横交错构成，在所述石墨框四周的边缘框条上设有透气孔，使得透气孔和与其相邻的承载孔之间形成第二框条。本实用新型在石墨框四周的边缘框条上设置长条形的透气孔，并在长条形的透气孔和其对应的承载孔之间形成第二框条，第二框条和中央框条的宽度相当，在相同加热时间下，这2种石墨框条的温差较小，有益于电池片镀膜时的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 板式 pecvd 设备 石墨 | ||
【主权项】：
一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的承载孔(1)，所述承载孔(1)由位于石墨框四周的边缘框条(2)和位于石墨框中间的中央框条(3)纵横交错构成，其特征在于：在所述石墨框四周的边缘框条(2)上设有透气孔(4)，使得透气孔(4)和与其相邻的承载孔(1)之间形成第二框条(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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