[实用新型]一种用于板式PECVD设备的石墨框

权利要求书

1.一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的承载孔(1)，所述承载孔(1)由位于石墨框四周的边缘框条(2)和位于石墨框中间的中央框条(3)纵横交错构成，其特征在于：

在所述石墨框四周的边缘框条(2)上设有透气孔(4)，使得透气孔(4)和与其相邻的承载孔(1)之间形成第二框条(5)。

2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：在所述石墨框四周的边缘框条(2)上设有复数个长条形的透气孔(4)，长条形的透气孔(4)与位于石墨框四周的承载孔(1)一一对应设置，并在长条形的透气孔(4)和其对应的承载孔(1)之间形成第二框条(5)。

3.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述长条形的透气孔(4)为长方形透气孔，其长度小于等于与其对应的承载孔(1)的长度；其宽度为3~8mm。

4.根据权利要求3所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述石墨框四周的边缘框条(2)的四个角上均设有第二透气孔(6)，该第二透气孔(6)的中心位于与其相邻且相互垂直的2个长方形透气孔的对称轴的交点处；所述对称轴与其长方形的长边平行。

5.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述第二透气孔(6)为正方形透气孔。

6.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述长条形的透气孔(4)面积为350~1250mm²。

7.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述第二框条(5)的宽度小于等于所述中央框条(3)的宽度。

8.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述中央框条(3)的宽度为5~7mm；所述第二框条(5)呈长方形，其宽度为3~7mm。

9.根据权利要求2或6所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述第二框条(5)的长度与中央框条(3)的长度相同。

10.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的石墨框，其特征在于：所述承载孔(1)呈5×10的矩阵结构，或呈5×6的矩阵结构。