[实用新型]基于类金刚石薄膜的增厚型复合薄膜有效
| 申请号： | 201720460812.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN207313694U | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 柏洋;钱涛;焦飞 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C16/26;C23C28/00 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32297 | 代理人： | 陆明耀 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种基于类金刚石薄膜的增厚型复合薄膜，包括由基材表面向外依次形成的至少包括金属底层和共沉积层的过渡层以及类金刚石层，所述共沉积层是金属碳化物和所述金属碳化物中的金属元素对应的金属的融合物。本实用新型通过设置共沉积层，能够有效的提高纳米硬度范围，从而能够实现类金刚石层厚度的增加，并且，可以有效缓冲厚类金刚石层带来的巨大应力，提高复合薄膜与基材的结合力，同时，由于共沉积层的表面微观结构良好，不会破坏DLC自身的粗糙度，从而保证复合薄膜具有较低的摩擦系数。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金刚石 薄膜 增厚型 复合 | ||
【主权项】：
基于类金刚石薄膜的增厚型复合薄膜，其特征在于：包括由基材（5）表面向外依次形成的至少包括金属底层（1）、过渡层（10）以及类金刚石层（4），所述过渡层（10）包括共沉积层（2），所述共沉积层（2）是金属碳化物和所述金属碳化物中的金属元素对应的金属的融合物。
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