[实用新型]高真空插板阀有效

专利信息
申请号: 201720460706.5 申请日: 2017-04-28
公开(公告)号: CN206918280U 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 钱政羽;钱涛;吴其涛 申请(专利权)人: 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
主分类号: F16K3/02 分类号: F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316;F16K31/04;F16K31/50;F16K41/00
代理公司: 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32297 代理人: 陆明耀
地址: 215122 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型揭示了高真空插板阀,包括阀体,所述阀体具有两个共轴的阀口,所述阀体内腔中设置有导向机构,所述导向机构上滑动设置可封堵一个阀口的顶升式阀芯组件,所述顶升式阀芯组件连接驱动其沿所述导向机构往复滑动并控制阀口开度的驱动机构。本实用新型设计精巧,结构简单,采用伺服电机及丝杠驱动,能够有效的控制顶升式阀芯组件的移动位置,从而可以精确调整阀口的开度,进而控制真空室内的真空度,应用灵活。
搜索关键词: 真空 插板
【主权项】:
高真空插板阀,包括阀体(1),所述阀体(1)具有两个共轴的阀口(11),其特征在于:所述阀体(1)内腔中设置有导向机构(2),所述导向机构(2)上滑动设置可封堵一个阀口(11)的顶升式阀芯组件(3),所述顶升式阀芯组件(3)连接驱动其沿所述导向机构(2)往复滑动并控制阀口开度的驱动机构(4)。
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