[实用新型]高真空插板阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种插板阀，尤其是一种高真空插板阀。

背景技术

插板阀是隔绝两个相邻空间的重要阀体，在真空行业中，插板阀被广泛应用于各种真空设备上，用来隔绝两个不同真空度的区域或者隔绝真空环境与其他气体环境。

如专利号为ZL 2014100968474的中国专利，其揭示的一种导轨式真空插板阀，主要是在采用双层导轨结构，通过气缸驱动，并利用下层导轨的L形结构及阀板的重力实现阀门的锁紧，但是上述插板阀还存在一些问题，主要表现在：

由于采用气缸驱动，而气缸工作时仅有伸出和缩回两种状态，无法调节行程，这就导致插板阀也仅有打开和关闭两种状态，无法调节阀口开度，也就不能进行真空度的有效调节，功能相对单一。

同时，上述插板阀关闭时，主要是利用阀板自身的重力及下层导轨的结构从而带动阀板向下移动实现阀口的密封，虽然通过连杆连接阀架来提供一定的下压力，但是，由于阀架和推杆是铰接的，即阀架是可以活动的，这就导致阀板也是活动的，并没有可靠的支撑结构，因此当密封端的压力大于另一端的压力时，阀板就有可能被向上推动，这就增加了泄漏的几率，导致密封效果变差，甚至密封失效。

另外，在阀板关闭过程中，导轮机构Ⅱ存在着沿导轨下落的过程，而这一过程中难免出现一定的震荡，这就使得零部件连接的稳定性受到冲击；而在阀板打开过程中，导轮机构Ⅱ存在着从槽内被拉出的过程，而这一过程中的反作用力也势必对气缸的运行产生一定的影响，整体运行的平顺性、稳定性不足。

最后，由于插板阀使用在真空环境中，而真空环境中，摩擦因素高，且摩擦热不能通过气体对流传导带走，因此导轨、导向机构等易发生磨损，降低使用寿命，而双层导轨结构，不仅导轨结构复杂，更增加了导轨和导向机构的数量，进一步增加了工件磨损的风险，使弊端更加突出。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种高真空插板阀。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

高真空插板阀，包括阀体，所述阀体具有两个共轴的阀口，所述阀体内腔中设置有导向机构，所述导向机构上滑动设置可封堵一个阀口的顶升式阀芯组件，所述顶升式阀芯组件连接驱动其沿所述导向机构往复滑动并控制阀口开度的驱动机构。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：所述导向机构包括两条延伸到所述阀体两端的导轨，所述顶升式阀芯组件通过自润滑衬套架设在两条导轨上。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：所述顶升式阀芯组件包括下阀板及上阀板，

非密封状态下，所述下阀板和上阀板贴合，且所述下阀板和上阀板均与两个阀口保持间隙；

密封状态下，所述下阀板和上阀板分离，且所述下阀板或上阀板将一个所述阀口密封。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：所述下阀板或上阀板密封阀口的面上设置密封圈，所述密封圈的直径大于所述阀口的直径。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：还包括驱动所述上阀板的顶升复位机构，所述顶升复位机构包括与所述上阀板螺栓连接的顶块，所述顶块限位于所述下阀板上设置的凸字形限位孔中并通过顶升气缸顶升，所述顶块还连接驱动其沿所述限位孔滑动复位的复位弹簧。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：所述顶升气缸位于所述阀体外，并通过波纹管或轴密封与所述阀体密封连接。

优选的，所述的高真空插板阀，其中：所述驱动机构包括连接所述顶升式阀芯组件的丝杠，所述丝杠通过磁耦合式密封连接位于所述阀体外的旋转动力源。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：

本实用新型设计精巧，结构简单，采用伺服电机及丝杠驱动，能够有效的控制顶升式阀芯组件的移动位置，从而可以精确调整阀口的开度大小，进而控制真空室内的真空度，应用灵活。

由于采用顶升复位机构来驱动阀板密封或打开阀口，通过外力提供充足的支撑力，并不依赖于阀板自身的重力，因此，即使密封端的压力大于另一端的压力，仍能够使得阀板与阀口内壁有效的贴合密封，降低了泄露的可能性。

相对于现有技术，插板阀在工作过程中，顶升式阀芯组件的移动平缓、稳定，且更为可靠。

单层的导向结构，相对于双层的导向结构，不论是零部件的加工难度还是整体结构，都更为简单，并且利用自润滑轴套实现顶升式阀芯组件和导轨的连接，能够大大避免真空环境中的摩擦损耗，延长零部件的使用寿命。