[实用新型]一种屏蔽装置有效
| 申请号： | 201720358292.5 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN207294877U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周树法 | 申请（专利权）人： | 昆山立特纳米电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种屏蔽装置，包括蒸发源管道和屏蔽设备，所述蒸发源管道与屏蔽设备通过密封件相连接，所述密封件为橡胶密封件。本装置用于研发大型DLC‑2800超硬纳米薄膜涂层设备的屏蔽装置，通过设置橡胶密封件，可以有效防止蒸发源管道导热快，造成屏蔽设备热坏，达到保护屏蔽设备的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
一种屏蔽装置，包括蒸发源管道（3）和屏蔽设备（1），其特征在于：所述蒸发源管道（3）与屏蔽设备（1）通过密封件（2）相连接。
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