[实用新型]一种屏蔽装置有效
| 申请号： | 201720358292.5 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN207294877U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周树法 | 申请（专利权）人： | 昆山立特纳米电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种屏蔽装置。
背景技术
目前在某些产品生产过程中，由于蒸发源产生的热气温度高，容易通过金属材质的密封件快速导热到屏蔽设备，将屏蔽设备热坏。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种屏蔽装置。
本实用新型为了解决其技术问题所采取的技术方案是：
一种屏蔽装置，包括蒸发源管道和屏蔽设备，所述蒸发源管道与屏蔽设备通过密封件相连接。
所述密封件为橡胶密封件。
本实用新型的有益效果是：
本装置用于研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备的屏蔽装置，通过设置橡胶密封件，可以有效防止蒸发源管道导热快，造成屏蔽设备热坏，达到保护屏蔽设备的作用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型一种屏蔽装置的结构示意图。
其中： 1、屏蔽设备；2、密封件；3、蒸发源管道。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示，一种屏蔽装置，包括蒸发源管道3和屏蔽设备1，所述蒸发源管道3与屏蔽设备1通过密封件2相连接。所述密封件2为橡胶密封件。本装置用于研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备的屏蔽装置，通过设置橡胶密封件，可以有效防止蒸发源管道导热快，造成屏蔽设备热坏，达到保护屏蔽设备的作用。
上述附图及实施例仅用于说明本实用新型，任何所属技术领域普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，或改用其他花型做此技术上的改变，都皆应视为不脱离本实用新型专利范畴。
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