[实用新型]一种石英舟的定位装置

摘要

一种石英舟的定位装置，包括用于前后定位的限位块和用于左右定位的内侧限位块；所述限位块设置有两个，两所述限位块间隔设置在移舟板的台面；两所述限位块的相对面均设置有用于避让石英舟的舟脚的留空部，所述留空部的两侧设置有限位凸起，所述留空部的留空面上设置有中部支撑凸起和承接台凸起，所述中部支撑凸起的台面用于支撑石英舟的舟体前后两端面的中部，所述承接台凸起的台面用于安装所述内侧限位块；同一侧限位块上的两所述内侧限位块的外侧面贴合于所述舟脚的内侧面。本实用新型提出一种石英舟的定位装置，将石英舟的重力分散于支撑凸起上，避免舟脚在移舟板或定位装置上形成凹坑影响整体的定位，避免出现硅片的碎片或卡片。

主权项

一种石英舟的定位装置，其特征在于：包括用于前后定位的限位块和用于左右定位的内侧限位块；所述限位块设置有两个，两所述限位块间隔设置在移舟板的台面；两所述限位块的相对面均设置有用于避让所述石英舟的舟脚的留空部，所述留空部的两侧设置有限位凸起，所述留空部的留空面上设置有中部支撑凸起和承接台凸起，所述中部支撑凸起的台面用于支撑所述石英舟的舟体前后两端面的中部，所述承接台凸起的台面用于安装所述内侧限位块；同一侧限位块上的两所述内侧限位块的外侧面贴合于所述舟脚的内侧面。