[实用新型]一种石英舟的定位装置有效
申请号: | 201720316357.X | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN206541845U | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 陈平;陈国豪;叶展鹏;李海波;陈玉昆 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海普拉迪机器人有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 528137 广东省佛山市南海区狮山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 定位 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域,尤其涉及一种石英舟的定位装置。
背景技术
太阳能电池制造领域中,扩散工序采用高温长时间将杂质原子扩散进硅片中,整体耗能较高。传统的扩散工序中,常常需要使用石英舟来盛放药品后置于石英管或者炉子内进行加热,从而使得药品产生化学反应,之后,需要将石英舟取出。而石英舟一般是固定在移舟板上,现有技术中,移舟板上的石英舟的固定方式为外卡形式,石英舟的底部四角分别设置有支撑脚,移舟板的平台上设置有间隔对称的横梁,每个横梁的内侧设置有台阶面,石英舟的支撑脚支撑于台阶面上,在移舟板的平台上,对应于每个支撑脚的外侧位置设置有一外卡固定块,因此,石英舟的两端是依靠两个横梁限位,而石英舟的两侧则通过外卡固定块限位,这时,石英舟的支撑脚长时间支撑于台阶面上,在长时间使用后,支撑脚将由于其上经常放入或取出硅片导致对台阶面造成磨损,形成凹坑,这会严重影响移舟板的正常使用,容易造成硅片的碎片和卡片,经常需要对移舟板位置进行调整,严重影响产出。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种石英舟的定位装置,将石英舟的重力分散于支撑凸起上,避免舟脚在移舟板或定位装置上形成凹坑影响整体的定位,避免出现硅片的碎片或卡片,不影响产出。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种石英舟的定位装置,包括用于前后定位的限位块和用于左右定位的内侧限位块;
所述限位块设置有两个,两所述限位块间隔设置在移舟板的台面;两所述限位块的相对面均设置有用于避让所述石英舟的舟脚的留空部,所述留空部的两侧设置有限位凸起,所述留空部的留空面上设置有中部支撑凸起和承接台凸起,所述中部支撑凸起的台面用于支撑所述石英舟的舟体前后两端面的中部,所述承接台凸起的台面用于安装所述内侧限位块;
同一侧限位块上的两所述内侧限位块的外侧面贴合于所述舟脚的内侧面。
进一步的说明,所述内侧限位块为等腰梯形构件,所述中部支撑凸起为倒等腰梯形结构。
进一步的说明,所述限位凸起在前后方向上的剖面为L型面,其L型面的短边为底边。
进一步的说明,还包括用于顶推石英舟贴靠于任一限位块的顶推装置,所述顶推装置设置在另一所述限位块的外侧,所述顶推装置包括顶推气缸和横板,所述顶推气缸的输出端连接于所述横板的后板面,所述横板的前板面平行于所述限位块的外侧面,且所述横板位于所述限位块的上方。
进一步的说明,所述限位凸起的顶部设置有倾斜面。
进一步的说明,所述横板的前板面设置有缓冲垫片。
进一步的说明,所述缓冲垫为橡胶垫片。
本实用新型的有益效果:1、从内部提供两个方向上提供支撑,并设置有避让舟脚的留空部,可有效的避免石英舟经常搬放时对定位装置造成的磨损;
2、可根据不同石英舟舟脚间的间距对内侧限位块进行调整安装,具有可调整性;
3、实现准确定位,避免工人放置石英舟时为对准放置的现象。
附图说明
图1是本实用新型的一个实施例的结构示意图;
图2是本实用新型的一个实施例的限位块的结构示意图。
其中:舟脚01、舟体02;
限位块1、留空部11、中部支撑凸起111、承接台凸起112、限位凸起12、倾斜面121、内侧限位块2、内侧限位块的外侧面21、顶推装置3、顶推气缸31、横板32、缓冲垫片321。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1和图2所示,一种石英舟的定位装置,包括用于前后定位的限位块1和用于左右定位的内侧限位块2;
所述限位块1设置有两个,两所述限位块1间隔设置在移舟板的台面;两所述限位块1的相对面均设置有用于避让所述石英舟的舟脚01的留空部11,所述留空部11的两侧设置有限位凸起12,所述留空部11的留空面上设置有中部支撑凸起111和承接台凸起112,所述中部支撑凸起111的台面用于支撑所述石英舟的舟体02前后两端面的中部,所述承接台凸起112的台面用于安装所述内侧限位块2;
同一侧限位块1上的两所述内侧限位块2的外侧面21贴合于所述舟脚01的内侧面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的