[实用新型]光罩清洗机辅助夹具有效
| 申请号： | 201720299158.2 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN206701898U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;孙多卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙)44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开一种光罩清洗机辅助夹具，包括设于光罩清洗机的转盘上并由转盘上的顶柱限定的承载板以及若干个对称设于承载板各侧缘处以限定光罩边缘位置的限位组件，所述承载板的各侧缘处分别设置有若干组由承载板靠侧缘处向承载板中部排布的定位孔，每一个所述限位组件借助于定位销可调节地定位于对应一组定位孔中。本实用新型实施例通过在光罩清洗机的转盘上设有承载板且所述承载板上各侧缘处设有多个限位组件，限位组件通过定位销可调节地定位承载板上对应一组定位孔中以固设于承载板上，承载板上的定位孔设有多组，使限位组件互相之间形成的夹持尺寸具有多种选择，实现对大尺寸光罩的夹持，减少生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 辅助 夹具 | ||
【主权项】：
一种光罩清洗机辅助夹具，其特征在于：包括设于光罩清洗机的转盘上并由转盘上的顶柱限定的承载板以及若干个对称设于承载板各侧缘处以限定光罩边缘位置的限位组件，所述承载板的各侧缘处分别设置有若干组由承载板靠侧缘处向承载板中部排布的定位孔，每一个所述限位组件借助于定位销可调节地定位于对应一组定位孔中。
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