[实用新型]光罩清洗机辅助夹具

说明书

技术领域

本实用新型实施例涉及光罩清洗机技术领域，尤其涉及一种光罩清洗机辅助夹具。

背景技术

在光罩生产过程中需要对光罩进行清洗，市面上的光罩清洗机能自动对光罩进行清洗，主要依靠光罩清洗机中的转盘承载光罩以进行清洗。但是，现有的光罩清洗机能够清洗光罩的尺寸较小，以光罩清洗机的最大清洗尺寸为1200mm*850mm为例，此光罩清洗机中的转盘的最大调节尺寸是1200mm*850mm，当光罩的尺寸大于1200mm*850mm时，转盘上面没有能够安装顶住大尺寸光罩的位置，不能实现对光罩的清洗，延误大尺寸光罩的生产周期，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题是，提供一种光罩清洗机辅助夹具，实现对大尺寸光罩的夹持固定。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了如下技术方案：一种光罩清洗机辅助夹具，包括设于光罩清洗机的转盘上并由转盘上的顶柱限定的承载板以及若干个对称设于承载板各侧缘处以限定光罩边缘位置的限位组件，所述承载板的各侧缘处分别设置有若干组由承载板靠侧缘处向承载板中部排布的定位孔，每一个所述限位组件借助于定位销可调节地定位于对应一组定位孔中。

进一步地，所述限位组件由两个延伸臂呈L形一体连接而成，两个延伸臂的相互连接处设有用于与承载板定位连接的定位部，每一延伸臂远离定位部一端设有用于限定光罩边缘位置的限位部，承载板上的定位孔设置于承载板的各角度处，且定位孔沿斜线朝承载板内部延伸排布。

进一步地，所述限位组件为长条状的延伸臂，每个延伸臂一端设有用于与承载板定位连接的定位部而另一端设有用于限定光罩边缘位置的限位部，定位孔设置于承载板的各侧边处并垂直于对应的侧边朝承载板内部延伸排布。

进一步地，所述定位部设有透孔，以所述透孔对正承载板上一组定位孔，再以定位销穿过所述透孔并插入对应定位孔中而定位。

进一步地，所述定位部设有向下凸出一体设置的定位销，以所述定位销对正并插入承载板上对应定位孔中而定位。

进一步地，所述限位部呈阶梯状，包括位于靠内一侧用于承载光罩边缘位置的低阶以及位于靠外一侧用于抵接光罩边缘的高阶。

通过采用上述技术方案，本实用新型实施例的有益效果如下：本实用新型实施例通过在光罩清洗机的转盘上设有承载板且所述承载板上各侧缘处设有多个限位组件，限位组件通过定位销可调节地定位承载板上对应一组定位孔中以固设于承载板上，承载板上的定位孔设有多组，使限位组件互相之间形成的夹持尺寸具有多种选择，实现对大尺寸光罩的夹持，减少生产成本，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型光罩清洗机辅助夹具一个实施例以及转盘的立体结构示意图。

图2是本实用新型光罩清洗机辅助夹具一个实施例的承载板和定位组件组合后的俯视示意图。

图3是本实用新型光罩清洗机辅助夹具另一个实施例的承载板和定位组件组合后的俯视示意图。

图4是沿图2中A-A面的剖视结构局部示意图。

图5是本实用新型光罩清洗机辅助夹具一个实施例定位销与定位部一体设置时的剖视结构局部示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图2所示，本实用新型一个实施例提供一种光罩清洗机辅助夹具，包括设于光罩清洗机的转盘1上并由转盘1上的顶柱11限定的承载板2以及若干个对称设于承载板2各侧缘处以限定光罩100边缘位置的限位组件3。所述承载板2的各侧缘处分别设置有若干组由承载板2靠侧缘处向承载板2中部排布的定位孔21，每一个所述限位组件3借助于定位销31可调节地定位于对应一组定位孔21中。

在一个具体实施例中，如图1及图2所示，所述限位组件3为分别设于承载板2的四个角上的4个，所述承载板2的每个角的位置上开设有两两为一组的共4组定位孔21，而限位组件3可以通过定位销31与任意一组定位孔21进行安装固定，从而可以对限位组件3互相之间形成的夹持尺寸进行调节，优选地：可夹持的光罩尺寸范围可扩大为1200mm*850mm~1400mm*850mm，从而提供多种尺寸选择。