[实用新型]一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统

摘要

本实用新型公开了一种用于扩散炉的加热装置，包括导热管体和传热至导热管体的加热元件，导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从载气源接收载气，导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向扩散炉输送载气。通过增设一加热装置，当扩散炉炉门打开后，加热装置中的高温载气通入扩散炉中，可以较快速的使晶体硅太阳能电池温度达到工艺要求，并保持管内气氛的稳定，减少升温的时间，可以提升单位时间内的产能。本实用新型还提供一种保温扩散炉系统，包括载气源、扩散源、进气管、扩散炉以及上述加热装置，载气源中载气携带扩散源中扩散元素经进气管均匀输送至扩散炉中，载气源中载气经加热装置加热后输送至扩散炉中。

主权项

一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，包括导热管体和传热至所述导热管体的加热元件，所述导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从所述载气源接收载气，所述导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向所述扩散炉输送载气。