[实用新型]一种用于扩散炉的加热装置及保温扩散炉系统

权利要求书

1.一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，包括导热管体和传热至所述导热管体的加热元件，所述导热管体的进气口经第一单向阀与一载气源连接以从所述载气源接收载气，所述导热管体的出气口经第二单向阀与一扩散炉连接以向所述扩散炉输送载气。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述管体为石英管，所述加热元件为加热丝。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括设于所述管体外侧的保温组件。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述保温组件包括第一保温层和第二保温层中的一层或内外设置的两层，所述第一保温层和所述第二保温层中，其中一层为保温棉，另一层为真空镜面保温管，所述真空镜面保温管为真空镜面管本体或内壁涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管或外壁涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管或内外壁均涂覆有镜面反射涂层的真空镜面管。

5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括设于最外层的金属防护壳体。

6.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，还包括自动控制系统，所述自动控制系统包括第一温度传感器和控制器，所述第一温度传感器设于所述导热管体上并与所述控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与所述加热元件连接，所述控制器根据接收到的所述第一温度传感器的温度信号以控制所述加热元件的启停。

7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述第一单向阀为电磁阀，所述自动控制系统还包括压力表，所述压力表设于所述导热管体上并与所述控制器的输入端连接，所述控制器根据接收到的所述压力表的压力信号以控制所述第一单向阀的开闭。

8.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述第二单向阀为电磁阀，所述自动控制系统还包括感应器和第二温度传感器，所述感应器设于所述扩散炉炉门上并与所述控制器的输入端连接，所述第二温度传感器设于所述扩散炉中并与所述控制器的输入端连接，所述控制器根据接收到的感应器的炉门开关信号以控制所述第二单向阀的开启，所述控制器根据接收到的所述第二温度传感器的温度信号以控制所述第二单向阀的关闭。

9.根据权利要求6或8所述的加热装置，其特征在于，所述温度传感器为热电偶。

10.一种保温扩散炉系统，包括载气源、扩散源以及扩散炉，所述载气源中载气携带所述扩散源中扩散元素经一进气管输送至所述扩散炉中，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一所述的加热装置，所述载气源中载气经所述加热装置加热后输送至所述扩散炉中，所述加热装置与所述扩散炉连接同一载气源或不同载气源。