[实用新型]一种蓝宝石衬底清洗篮装置有效

专利信息
申请号: 201720286772.5 申请日: 2017-03-23
公开(公告)号: CN206685353U 公开(公告)日: 2017-11-28
发明(设计)人: 陆昌程;杨华;蔡金荣 申请(专利权)人: 江苏吉星新材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/67;B08B13/00
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 代理人: 陈丽君
地址: 212200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种蓝宝石衬底清洗篮装置,包括底部横栏、侧板以及端板,底部横栏上表面呈斜面倒角结构,底部横栏上设有第一凹槽和第二凹槽;侧板呈长方形板体结构,侧板顶部设有侧板倒角;侧板上设有第一流动孔和第二流动孔,端板呈方形结构,端板顶部设置有U型槽,U型槽四周呈弧形倒角结构;端板顶部设置端板倒角;每个端板上设置有两个挂钩,挂钩呈圆柱形,其中一个挂钩上设置有感应器。结构新颖,使得晶棒检验时方便简单。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 衬底 清洗 装置
【主权项】:
一种蓝宝石衬底清洗篮装置,其特征在于,包括底部横栏、侧板以及端板,所述底部横栏数量为六个,所述侧板数量为两个,所述端板数量为两个;所述两个侧板呈相对设置,所述侧板位于所述底部横栏两侧,所述六个底部横栏呈均匀分布;两个所述端板分别对称设置于所述侧板两端位置,所述端板与侧板相互连接;所述底部横栏上表面呈斜面倒角结构,所述底部横栏上设有第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽数量为两个,其截面为方形结构,设置于所述底部横栏两端,所述第二凹槽数量为两个,其截面为方形结构,对称设置于所述底部横栏中间位置,所述第一凹槽与第二凹槽的底面均呈斜面倒角结构,所述第一凹槽与第二凹槽呈相邻设置;所述侧板呈长方形板体结构,所述侧板顶部设有侧板倒角;所述侧板上设有第一流动孔和第二流动孔,所述第一流动孔数量为3个,呈横向均匀分布在侧板上部位置,所述第一流动孔呈方形,其四周边角呈弧形倒角结构;所述第二流动孔数量为一个,呈横向设置于侧板下部位置,所述第二流动孔位于所述3个第一流动孔下方位置,所述第二流动孔呈长方形,所述第二流动孔底部呈倾斜倒角结构;所述端板呈方形结构,所述端板顶部设置有U型槽,所述U型槽四周呈弧形倒角结构;所述端板顶部设置端板倒角;每个所述端板上设置有两个挂钩,所述挂钩呈圆柱形,其中一个挂钩上设置有感应器。
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