[实用新型]一种蓝宝石衬底清洗篮装置有效
| 申请号: | 201720286772.5 | 申请日: | 2017-03-23 |
| 公开(公告)号: | CN206685353U | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
| 发明(设计)人: | 陆昌程;杨华;蔡金荣 | 申请(专利权)人: | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67;B08B13/00 |
| 代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 | 代理人: | 陈丽君 |
| 地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 一种蓝宝石衬底清洗篮装置,包括底部横栏、侧板以及端板,底部横栏上表面呈斜面倒角结构,底部横栏上设有第一凹槽和第二凹槽;侧板呈长方形板体结构,侧板顶部设有侧板倒角;侧板上设有第一流动孔和第二流动孔,端板呈方形结构,端板顶部设置有U型槽,U型槽四周呈弧形倒角结构;端板顶部设置端板倒角;每个端板上设置有两个挂钩,挂钩呈圆柱形,其中一个挂钩上设置有感应器。结构新颖,使得晶棒检验时方便简单。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 衬底 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石衬底清洗篮装置,其特征在于,包括底部横栏、侧板以及端板,所述底部横栏数量为六个,所述侧板数量为两个,所述端板数量为两个;所述两个侧板呈相对设置,所述侧板位于所述底部横栏两侧,所述六个底部横栏呈均匀分布;两个所述端板分别对称设置于所述侧板两端位置,所述端板与侧板相互连接;所述底部横栏上表面呈斜面倒角结构,所述底部横栏上设有第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽数量为两个,其截面为方形结构,设置于所述底部横栏两端,所述第二凹槽数量为两个,其截面为方形结构,对称设置于所述底部横栏中间位置,所述第一凹槽与第二凹槽的底面均呈斜面倒角结构,所述第一凹槽与第二凹槽呈相邻设置;所述侧板呈长方形板体结构,所述侧板顶部设有侧板倒角;所述侧板上设有第一流动孔和第二流动孔,所述第一流动孔数量为3个,呈横向均匀分布在侧板上部位置,所述第一流动孔呈方形,其四周边角呈弧形倒角结构;所述第二流动孔数量为一个,呈横向设置于侧板下部位置,所述第二流动孔位于所述3个第一流动孔下方位置,所述第二流动孔呈长方形,所述第二流动孔底部呈倾斜倒角结构;所述端板呈方形结构,所述端板顶部设置有U型槽,所述U型槽四周呈弧形倒角结构;所述端板顶部设置端板倒角;每个所述端板上设置有两个挂钩,所述挂钩呈圆柱形,其中一个挂钩上设置有感应器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





