[实用新型]一种多晶硅铸锭用提纯炉有效

专利信息
申请号: 201720284616.5 申请日: 2017-03-22
公开(公告)号: CN206814402U 公开(公告)日: 2017-12-29
发明(设计)人: 王增林 申请(专利权)人: 宁夏金海金晶光电产业有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 代理人: 郑自群
地址: 753000 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型提出了一种多晶硅铸锭用提纯炉,包括导热筒体;导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极;螺旋盘管式加热电极外套有炉体;炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料;导热筒体内设置有坩埚;炉体外壁上设置有抽真空装置;离心装置设于炉体下方,并与坩埚通过离心装置的主轴固定连接。本实用新型中导热筒体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果,使得炉体内温度均匀,节省导热筒体空间,提高空间利用率;通过采用离心装置对多晶硅进行提纯,提高了晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。实验结果表明,采用本实用新型的提纯炉得到的多晶硅中磷在5ppm以下,硼在0.3ppm以下,符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭 提纯
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用提纯炉,其特征在于,包括:导热筒体(3);所述导热筒体(3)外绕有螺旋盘管式加热电极(4);所述螺旋盘管式加热电极(4)外套有炉体(1);所述炉体(1)与所述螺旋盘管式加热电极(4)之间填充有保温材料(5);所述导热筒体(3)内设置有坩埚(2);所述炉体(1)外壁上设置有抽真空装置(7)。离心装置(6)设于所述炉体(1)下方,并与所述坩埚(2)通过所述离心装置(6)的主轴固定连接。
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