[实用新型]一种多晶硅铸锭用提纯炉有效
| 申请号： | 201720284616.5 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206814402U | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王增林 | 申请（专利权）人： | 宁夏金海金晶光电产业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 提纯 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，包括：
导热筒体(3)；
所述导热筒体(3)外绕有螺旋盘管式加热电极(4)；所述螺旋盘管式加热电极(4)外套有炉体(1)；所述炉体(1)与所述螺旋盘管式加热电极(4)之间填充有保温材料(5)；
所述导热筒体(3)内设置有坩埚(2)；
所述炉体(1)外壁上设置有抽真空装置(7)。
离心装置(6)设于所述炉体(1)下方，并与所述坩埚(2)通过所述离心装置(6)的主轴固定连接。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述坩埚(2)包括坩埚体(8)，所述坩埚体(8)的内部设置有容纳槽(9)；所述容纳槽(9)的下方、所述坩埚体(8)的底部设置有冷却腔(10)，所述冷却腔(10)内设置有冷却流道(11)。
3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述冷却流道(11)为费马螺线流道。
4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述坩埚(2)的数量与所述离心装置(6)的数量相同为2～100个。
5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述保温材料(5)为耐火保温纤维。
6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭用提纯炉，其特征在于，所述螺旋盘管式加热电极(4)为石墨电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏金海金晶光电产业有限公司，未经宁夏金海金晶光电产业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720284616.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
