[实用新型]硅片翻转装置

摘要

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片翻转装置，包括控制单元、颜色传感器和用于输送硅片的前端输送机构及后端输送机构，所述前端输送机构和后端输送机构沿硅片输送方向相互错开设置且首尾相连，本实用新型硅片翻转装置在使用时，将第一输送辊沿硅片输送方向设置成螺旋状机构，及第二输送辊沿硅片输送方向设置设与第一输送辊相对设置的螺旋状，并通过颜色传感器检测硅片色差，当色差在检测范围内，翻板将第一输送辊上的硅片输送至第二输送辊上，当色差超出检测范围时，推板翻转将硅片输送至第四输送辊上，其结构简单，能够快速将硅片翻转，便于维护，避免了现有硅片翻转机构结构复杂，维护不方便的问题。

主权项

一种硅片翻转装置，其特征在于：包括控制单元(10)、颜色传感器(11)和用于输送硅片的前端输送机构及后端输送机构，所述前端输送机构和后端输送机构沿硅片输送方向相互错开设置且首尾相连，所述前端输送机构包括第一输送架(1)及转动设在第一输送架(1)上的第一输送辊(2)，所述第一输送架(1)上设有用于驱动第一输送辊(2)转动的第一电机(3)，所述第一输送辊(2)的中心轴线以一端为摆动中心逐渐向上倾斜，所述后端输送机构包括第二输送架(4)及转动设在第二输送架(4)上的第二输送辊(5)，所述第二输送架(4)上设有用于驱动第二输送辊(5)转动的第二电机(6)，所述第二输送辊(5)的中心轴线以一端为摆动中心并逐渐向上倾斜，所述第一输送辊(2)和第二输送辊(5)相对设置，所述第一输送辊(2)和第二输送辊(5)沿硅片输送方向由两端逐渐向中间凸起，所述第一输送架(1)靠近第二输送架(4)的一端铰接有推板(7)，所述第一输送架(1)上设有第一气缸(14)，所述第一气缸(14)与所述推板(7)远离其铰接点的一端转动连接，所述推板(7)上转动设置有第三输送辊(12)，所述推板(7)上铰接有翻板(13)，所述推板(7)上设有用于驱动翻板(13)摆动的第二气缸(15)，所述第三输送辊(12)上设有被动摩擦轮(16)，所述前端输送机构的输出端设有分离输送机构，所述分离输送机构包括第三输送架(20)及转动设在第三输送架(20)上的第四输送辊(21)，所述第三输送架(20)上设有用于驱动第四输送辊(21)转动的第三电机(22)，所述第三输送架(20)上转动设置有主动摩擦轮(17)，所述主动摩擦轮(17)与所述被动摩擦轮(16)相对应，所述第三输送架(20)上设置有用于驱动主动摩擦轮(17)转动的第四电机(18)，所述颜色传感器(11)设置在所述前端输送机构上方，所述第一气缸(14)、第二气缸(15)、和颜色传感器(11)均与控制单元(10)信号连接。