[实用新型]硅片翻转装置有效
申请号: | 201720273806.7 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN206574685U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;汤平;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 翻转 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片翻转装置。
背景技术
太阳能电池片的印刷主要分为三个步骤,首先是对背面电极的印刷,其次是背面电场的印刷,第三是将硅片翻面后印刷正面电极。在第三步时,需要将硅片翻转过来进行印刷,而现有硅片翻转机构结构复杂,维护不方便。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决现有硅片翻转机构结构复杂,维护不方便的问题,现提供了一种硅片翻转装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片翻转装置,包括控制单元、颜色传感器和用于输送硅片的前端输送机构及后端输送机构,所述前端输送机构和后端输送机构沿硅片输送方向相互错开设置且首尾相连,所述前端输送机构包括第一输送架及转动设在第一输送架上的第一输送辊,所述第一输送架上设有用于驱动第一输送辊转动的第一电机,所述第一输送辊的中心轴线以一端为摆动中心逐渐向上倾斜,所述后端输送机构包括第二输送架及转动设在第二输送架上的第二输送辊,所述第二输送架上设有用于驱动第二输送辊转动的第二电机,所述第二输送辊的中心轴线以一端为摆动中心并逐渐向上倾斜,所述第一输送辊和第二输送辊相对设置,所述第一输送辊和第二输送辊沿硅片输送方向由两端逐渐向中间凸起,所述第一输送架靠近第二输送架的一端铰接有推板,所述第一输送架上设有第一气缸,所述第一气缸与所述推板远离其铰接点的一端转动连接,所述推板上转动设置有第三输送辊,所述推板上铰接有翻板,所述推板上设有用于驱动翻板摆动的第二气缸,所述第三输送辊上设有被动摩擦轮,所述前端输送机构的输出端设有分离输送机构,所述分离输送机构包括第三输送架及转动设在第三输送架上的第四输送辊,所述第三输送架上设有用于驱动第四输送辊转动的第三电机,所述第三输送架上转动设置有主动摩擦轮,所述主动摩擦轮与所述被动摩擦轮相对应,所述第三输送架上设置有用于驱动主动摩擦轮转动的第四电机,所述颜色传感器设置在所述前端输送机构上方,所述第一气缸、第二气缸、和颜色传感器均与控制单元信号连接。
本实用新型通过颜色传感器检测硅片的正反色差,并由控制器控制第一气缸或第二气缸,硅片在前端输送机构上的第一输送辊上传输,硅片随着第一输送辊的摆动缓慢向后端输送机构方向转动,硅片到达推板时,当检测到硅片颜色在范围内时,翻板推动硅片到后端输送机构的第二输送辊上,硅片随第二输送辊的输送缓慢将转动,最后并将硅片水平输出,完成硅片的翻转工作,当检测到硅片颜色超出范围时,推板转动,并使第三输送辊上的从动摩擦轮与第三输送架上的主动摩擦轮接触,使得第三输送辊将硅片输送至第三输送架上的第四输送辊上并输出。
为了防止硅片与第二输送辊之间发生碰撞,进一步地,所述第二输送辊的外周面设有缓冲橡胶层。通过在第二输送辊上设置缓冲橡胶层,使得硅片在与第二输送辊接触时能够具体一点的缓冲效果,降低了硅片与第二输送辊的冲击力。
为了防止硅片在第一输送辊上滑落,进一步地,所述第一输送辊上设有第一限位环,所述第一限位环位于靠近后端输送机构的一侧。通过在第一输送辊靠近前端输送机构的一侧设置第一限位环,第一限位环有效的将硅片阻挡,防止硅片在第一输送辊上滑落。
为了防止硅片在第二输送辊上滑落,进一步地,所述第二输送辊上设有第二限位环,所述第二限位环位于靠近前端输送机构的一侧。通过在第二输送辊靠近前端输送机构的一侧设置第二限位环,第二限位环有效的将硅片阻挡,防止硅片在第二输送辊上滑落。
为了防止硅片在第三输送辊上滑落,进一步地,所述第三输送辊上设有第三限位环,所述第三限位环位于靠近后端输送机构的一侧。通过在第三输送辊靠近后端输送机构的一侧设置第三限位环,第三限位环有效的将硅片阻挡,防止硅片在第三输送辊上滑落。
为了防止硅片在第一输送架的输出端掉落,进一步地,所述第一输送架位于其输出端设有用于限位硅片的挡板。通过在第一输送架的输出端设置挡板,对硅片进行限位,有效的防止硅片掉落。
本实用新型的有益效果是:本实用新型硅片翻转装置在使用时,将前端输送机构上的第一输送辊沿硅片输送方向设置成螺旋状机构,同时后端输送机构上的第二输送辊沿硅片输送方向设置设与第一输送辊相对设置的螺旋状,并通过颜色传感器检测硅片色差,当色差在检测范围内,翻板将第一输送辊上的硅片输送至第二输送辊上,当色差超出检测范围时,推板翻转将硅片输送至第四输送辊上,其结构简单,能够快速将硅片翻转,便于维护,避免了现有硅片翻转机构结构复杂,维护不方便的问题。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造