[实用新型]一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置有效
| 申请号： | 201720273357.6 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN206583585U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄鹏程;程翔宇;房震;高洋;陈文革 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34;G01M3/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 朱荣 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，包括真空管路、法兰、真空阀门、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔，真空管路上安装有与被测真空腔体进行快速连接的刀口法兰接口，真空规管、四极质谱分析仪分别通过刀口法兰安装在装置真空管路上，标准漏孔通过快接法兰安装在装置真空管路上，且被测真空腔体的刀口法兰接口、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔均通过真空阀门与真空管路连接，真空管路上还留有备用接口。本实用新型最大限度地减少了对真空腔体的开孔，可显著地提升真空腔体的真空度，采用结构简单，易于加工实现的材料，使用标准件，有效实现了真空测量及分析功能，保证其能稳定长期工作，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁体 杜瓦高 真空 测量 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，包括真空管路、法兰、真空阀门、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔，其特征在于：所述真空管路上安装有与被测真空腔体进行快速连接的刀口法兰接口，所述真空规管、四极质谱分析仪分别通过刀口法兰安装在装置真空管路上，标准漏孔通过快接法兰安装在装置真空管路上，且被测真空腔体的刀口法兰接口、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔均通过真空阀门与真空管路连接。
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