[实用新型]一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置

权利要求书

1.一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，包括真空管路、法兰、真空阀门、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔，其特征在于：所述真空管路上安装有与被测真空腔体进行快速连接的刀口法兰接口，所述真空规管、四极质谱分析仪分别通过刀口法兰安装在装置真空管路上，标准漏孔通过快接法兰安装在装置真空管路上，且被测真空腔体的刀口法兰接口、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔均通过真空阀门与真空管路连接。

2.根据权利要求1所述的用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，其特征在于：所述的真空管路的材料为304不锈钢，其主管路的直径大于设备连接管路的直径。

3.根据权利要求2所述的用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，其特征在于：所述的主管路的直径为50mm，设备连接管路的直径为35mm, 与之匹配的真空阀门直径为分别为50mm和35mm。

4.根据权利要求1所述的用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，其特征在于：所述的真空管路上还留有备用接口。

5.根据权利要求4所述的用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，其特征在于：所述的备用接口为两个，一个为刀口接口，一个为快接接口，且备用接口不用时用真空盲板封住。