[实用新型]晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型涉及一种晶硅铸锭炉，包括炉体；隔热笼；热交换台；水冷盘，包括与热交换台底部接触的导热板、与导热板的表面相接触的冷却水管，其中冷却水管在导热板的表面上自导热板的中心向外围以等速螺旋的方式延伸，冷却水管的注水口对应于导热板的中心位置，出水口在导热板表面上的投影靠近导热板的边缘，导热板的中心与热交换台底部中心对应，且导热板的四周边缘与热交换台底部四周边缘重合。冷却水先对热交换台底部的中部区域进行散热，带走较多热量，冷却水经过四周时水温已升高故只带走少量热量，使得热量主要通过热交换台的中部区域散热，四周辅助散热，且冷却水管均匀分布，能获得相对平整、中间微凸的固液界面，利于铸锭排杂。

主权项

一种晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：炉体；隔热笼，设置在炉体内；热交换台，位于隔热笼内，热交换台的顶部用以承载坩埚；水冷盘，包括与所述热交换台底部接触的导热板、与所述导热板的表面相接触的冷却水管，其中冷却水管在所述导热板的表面上自所述导热板的中心向外围以等速螺旋的方式延伸，所述冷却水管的注水口对应于所述导热板的中心位置，出水口在所述导热板表面上的投影靠近导热板的边缘，所述导热板的中心与所述热交换台底部中心对应，且所述导热板的四周边缘与所述热交换台底部四周边缘重合。