[实用新型]晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：

炉体；

隔热笼，设置在炉体内；

热交换台，位于隔热笼内，热交换台的顶部用以承载坩埚；

水冷盘，包括与所述热交换台底部接触的导热板、与所述导热板的表面相接触的冷却水管，其中冷却水管在所述导热板的表面上自所述导热板的中心向外围以等速螺旋的方式延伸，所述冷却水管的注水口对应于所述导热板的中心位置，出水口在所述导热板表面上的投影靠近导热板的边缘，所述导热板的中心与所述热交换台底部中心对应，且所述导热板的四周边缘与所述热交换台底部四周边缘重合。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述注水口和出水口均垂直于所述导热板的表面。

3.根据权利要求2所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，晶硅铸锭炉还包括隔热底板，隔热底板与隔热笼能封闭在一起形成密闭腔室，注水口和出水口均朝所述隔热底板延伸且穿过所述隔热底板。

4.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述导热板为铜板，所述冷却水管为铜管，所述铜管焊接在所述铜板上。

5.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述导热板呈圆形或正方形。

6.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括供水系统和回收系统，所述供水系统的供水口与所述冷却水管的注水口连通，所述回收系统用以回收自出水口流出的热水。

7.根据权利要求6所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述供水系统具有流量控制装置，用以控制单位时间内冷却水管中水的流量。

8.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述水冷盘通过所述导热板固定于所述热交换台的底部。