[实用新型]一种晶圆搬送机械手臂模组有效
| 申请号： | 201720195343.7 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN206524312U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李涛;陈曦;王广禄 | 申请（专利权）人： | 泉州市憬承光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362000 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆搬送机械手臂模组，包括安装在升降轴丝杆固定座上的机械手臂模组，机械手臂模组包括传动轴滑轨固定座、安装在传动轴滑轨固定座上的同步带、驱动所述同步带转动的步进电机、分别设置在所述同步带上下两侧的第一导向滑轨、第二导向滑轨和第一机械手臂、第二机械手臂，步进电机通过同步带驱动第一机械手臂、第二机械手臂同步运动，所述第一机械手臂、第二机械手臂的前端分别设置有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽中心处设置有真空贴。本实用新型上下两层的第一机械手臂、第二机械手臂可以同时实现一个来一个回同步运动，大大提高晶圆搬送效率，输送过程稳定，有效避免刮伤晶圆的表面或者背面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆搬送 机械 手臂 模组 | ||
【主权项】：
一种晶圆搬送机械手臂模组，其特征在于：包括安装在升降轴丝杆固定座上的机械手臂模组，所述机械手臂模组包括传动轴滑轨固定座、安装在传动轴滑轨固定座上的同步带、驱动所述同步带转动的步进电机、分别设置在所述同步带上下两侧的第一导向滑轨、第二导向滑轨和对应装配在第一导向滑轨、第二导向滑轨上的第一机械手臂、第二机械手臂，所述步进电机通过同步带驱动第一机械手臂、第二机械手臂同步运动，所述第一机械手臂、第二机械手臂的前端分别设置有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽中心处设置有真空贴。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
