[实用新型]一种电容式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种电容式压力传感器，包括基座和敏感片，基座包括两对称设置的半基座，定义基座的左半边为左半基座，基座右半边为右半基座，左半基座和右半基座均相同，且均分为上下两段，上段为内孔半圆柱结构，下段为平板结构，平板结构上开设有压力介质通孔，敏感片包括两基板，左基板和右基板的内侧面上分别设有电极及电极引线，左基板和右基板上的两个电极为相对电极，在左基板和/或右基板上的电极及电极引线周边设有支撑墙。本实用新型所提供的电容式压力传感器灵敏度高、成本低，可以将感测相同压力时所需要的形变量缩小，从而提高了传感器的可靠性和工作寿命，减小了传感器的体积，实现了传感器的小型化。

主权项

一种电容式压力传感器，包括基座和敏感片，其特征在于，所述基座包括两对称设置的半基座，以基座的轴向中心平面为基础，定义基座的左半边为左半基座，基座右半边为右半基座，所述左半基座和右半基座的结构、形状以及尺寸均相同，所述左半基座和右半基座均分为上下两段，其上段为内孔半圆柱结构，其下段为平板结构，平板结构上开设有压力介质通孔，所述敏感片包括两个面积相同的基板，分别为左基板和右基板，所述左基板和右基板的内侧面上分别设有电极及电极引线，左基板和右基板上的两个电极为相对电极；在装配状态下，左基板和右基板正对装配，左基板和右基板上的电极通过支撑墙隔开一间距，从而组成所述敏感片，所述左半基座和右半基座对合装配形成上段呈中空圆柱体、下段呈立方体的所述基座，所述敏感片夹设于左半基座和右半基座的平板结构处，此时，所述敏感片的基板上的电极所在的位置正对基座的平板结构上的压力介质通孔位置。