[实用新型]一种电容式压力传感器

权利要求书

1.一种电容式压力传感器，包括基座和敏感片，其特征在于，所述基座包括两对称设置的半基座，以基座的轴向中心平面为基础，定义基座的左半边为左半基座，基座右半边为右半基座，所述左半基座和右半基座的结构、形状以及尺寸均相同，所述左半基座和右半基座均分为上下两段，其上段为内孔半圆柱结构，其下段为平板结构，平板结构上开设有压力介质通孔，所述敏感片包括两个面积相同的基板，分别为左基板和右基板，所述左基板和右基板的内侧面上分别设有电极及电极引线，左基板和右基板上的两个电极为相对电极；在装配状态下，左基板和右基板正对装配，左基板和右基板上的电极通过支撑墙隔开一间距，从而组成所述敏感片，所述左半基座和右半基座对合装配形成上段呈中空圆柱体、下段呈立方体的所述基座，所述敏感片夹设于左半基座和右半基座的平板结构处，此时，所述敏感片的基板上的电极所在的位置正对基座的平板结构上的压力介质通孔位置。

2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述压力介质通孔采用单开孔或双开孔，即左基板和/或右基板的平板结构上开设有所述压力介质通孔。

3.根据权利要求1或2所述的电容式压力传感器，其特征在于，当所述敏感片为单极板形变电容敏感片时，所述左半基座或右半基座上开设有压力介质通孔，同时所述敏感片的基板上的电极所在的位置正对基座上的该压力介质通孔；当所述敏感片为双极板形变电容敏感片时，所述左半基座和右半基座上均开设有一压力介质通孔，此时，所述敏感片的左基板上的电极所在的位置正对左半基座上的压力介质通孔，同时，所述敏感片的右基板上的电极所在的位置正对右半基座上的压力介质通孔。

4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述内孔半圆柱结构的上开设有加工通孔。

5.根据权利要求4所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述敏感片与基座烧一体结成连接。

6.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，在所述左基板和/或右基板上的电极及电极引线周边设有金属支撑墙，所述金属支撑墙厚度高于电极及电极引线厚度。

7.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述电极形状为圆形或者方形。

8.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述敏感片的基板采用陶瓷板。

9.根据权利要求1或8所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述基座为陶瓷基座。

10.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，还包括外壳，所述外壳与基座上部的中空圆柱体通过烧结连接而成。