[实用新型]一种硅片倒小弧度圆角工装有效
| 申请号： | 201720152288.3 | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN206588730U | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 庞亮;陆海凤;刘杰;夏立庆;史衍斌;陈龙祥 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/14 | 分类号： | B24B9/14;B24B41/06;B24B47/20;B24B41/02 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙)32285 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种硅片倒小弧度圆角工装，由给进组件和夹具组件两部分组成，所述夹具组件的顶部夹持硅片，底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转；所述给进组件包括工作台，安装在所述工作台上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具为成型刀具，所述成型刀具在所述工作台的控制下向所述夹具组件接近，磨削所述夹具组件端部的硅片。本实用新型区别于传统的倒角机，由夹具组件和给进组件两部分组成，将夹具组件与研磨机的组件连接，带动硅片工件高速旋转，同时由给进组件的工作台给进使成型刀具对准工件边缘部位进行磨削，从而达到倒角的目的，能够实现硅片R1mm以下的圆角的倒角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 弧度 工装 | ||
【主权项】：
一种硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，由给进组件和夹具组件两部分组成，所述夹具组件的顶部夹持硅片，底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转；所述给进组件包括工作台，安装在所述工作台上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具为成型刀具，所述成型刀具在所述工作台的控制下向所述夹具组件接近，磨削所述夹具组件端部的硅片。
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