[实用新型]一种硅片倒小弧度圆角工装

权利要求书

1.一种硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，由给进组件和夹具组件两部分组成，所述夹具组件的顶部夹持硅片，底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转；所述给进组件包括工作台，安装在所述工作台上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具为成型刀具，所述成型刀具在所述工作台的控制下向所述夹具组件接近，磨削所述夹具组件端部的硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，所述夹具组件包括主轴接手、弹夹和弹夹收紧帽，所述弹夹的顶部夹持所述硅片，所述主轴接手套设在所述弹夹的外侧，所述弹夹收紧帽套设在所述主轴接手的外侧，收紧所述弹夹；所述弹夹的底部通过螺栓与穿过所述主轴接手的研磨机的主轴连接，在所述研磨机的主轴的驱动下自由旋转。

3.根据权利要求1所述的硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，所述给进组件的工作台为十字工作台。

4.根据权利要求1所述的硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，所述给进组件的刀架为旋转刀架，所述旋转刀架上固定有相同或不同半径的成型刀具。

5.根据权利要求4所述的硅片倒小弧度圆角工装，其特征在于，所述成型刀具为圆弧形或圆形。