[实用新型]多晶硅还原生产新型汽化器

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原生产新型汽化器，其包括汽化器，汽化器包括管壳，在管壳的两端分别安装有平盖管箱，在管壳上方设有气体出口，管壳下方设有液体入口，在管壳内部设有蒸汽换热U管和还原尾气换热U管，所述蒸汽换热U管和还原尾气换热U管分别安装在管壳两端平盖管箱的管板上，蒸汽换热U管连接蒸汽加热装置，还原尾气换热U管连接还原炉，所述管壳上方的气体出口通过气相三氯氢硅出口管连接还原炉，管壳下方的液体入口连接液相三氯氢硅进口管。本实用新型一方面能回收还原炉尾气的热量，另一方面能实现开车阶段稳定生产，并可减少设备投资。

主权项

一种多晶硅还原生产新型汽化器，其特征在于：包括汽化器（7），所述汽化器（7）分别连接还原炉和蒸汽加热装置，汽化器（7）包括管壳（71），在管壳（71）的两端分别安装有平盖管箱（72），在管壳（71）上方设有气体出口，管壳（71）下方设有液体入口，在管壳（71）的内部设有蒸汽换热U管（73）和还原尾气换热U管（74），所述蒸汽换热U管（73）和还原尾气换热U管（74）分别安装在管壳（71）两端平盖管箱（72）的管板上，蒸汽换热U管（73）的一端通过蒸汽进口管（3）连接蒸汽加热装置，另一端连接冷凝水出水管（4），还原尾气换热U管（74）的两端分别通过还原尾气进口管（5）和还原尾气出口管（6）连接还原炉，所述管壳（71）上方的气体出口通过气相三氯氢硅出口管（2）连接还原炉，管壳（71）下方的液体入口连接液相三氯氢硅进口管（1）。