[实用新型]多晶硅还原生产新型汽化器

权利要求书

1.一种多晶硅还原生产新型汽化器，其特征在于：包括汽化器（7），所述汽化器（7）分别连接还原炉和蒸汽加热装置，汽化器（7）包括管壳（71），在管壳（71）的两端分别安装有平盖管箱（72），在管壳（71）上方设有气体出口，管壳（71）下方设有液体入口，在管壳（71）的内部设有蒸汽换热U管（73）和还原尾气换热U管（74），所述蒸汽换热U管（73）和还原尾气换热U管（74）分别安装在管壳（71）两端平盖管箱（72）的管板上，蒸汽换热U管（73）的一端通过蒸汽进口管（3）连接蒸汽加热装置，另一端连接冷凝水出水管（4），还原尾气换热U管（74）的两端分别通过还原尾气进口管（5）和还原尾气出口管（6）连接还原炉，所述管壳（71）上方的气体出口通过气相三氯氢硅出口管（2）连接还原炉，管壳（71）下方的液体入口连接液相三氯氢硅进口管（1）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原生产新型汽化器，其特征在于：所述蒸汽换热U管（73）的长度大于还原尾气换热U管（74）的长度。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅还原生产新型汽化器，其特征在于：所述管壳（71）的内径与蒸汽换热U管（73）或还原尾气换热U管（74）的直径之比小于2。