[实用新型]一种电子级多晶硅的生产系统有效
| 申请号： | 201720111678.6 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN206735809U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 吴锋;梁帅军;韩锋;杨亮 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;C01B33/035 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子级多晶硅的生产系统，包括顺序连接的反应精馏装置(1)、精馏除杂装置(2)、还原装置(3)、尾气回收装置(4)和氢气提纯装置(5)；其中尾气回收装置(4)连接到精馏除杂装置(2)，氢气提纯装置(5)连接到精馏除杂装置(2)，所述各装置各自独立的包含若干个进料口和若干个出料口，前一个装置的出料口通过管道连接到后一个装置的进料口。本实用新型的系统可以生产低成本电子级多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 多晶 生产 系统 | ||
【主权项】：
一种电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，包括顺序连接的反应精馏装置(1)、精馏除杂装置(2)、还原装置(3)、尾气回收装置(4)和氢气提纯装置(5)；其中尾气回收装置(4)连接到精馏除杂装置(2)，氢气提纯装置(5)连接到精馏除杂装置(2)，所述各装置各自独立的包含若干个进料口和若干个出料口，前一个装置的出料口通过管道连接到后一个装置的进料口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鑫华半导体材料科技有限公司;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司，未经江苏鑫华半导体材料科技有限公司;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720111678.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：移动网络切换方法及移动终端
- 下一篇：一种碱式改性连续生产工艺系统
