[实用新型]一种电子级多晶硅的生产系统

权利要求书

1.一种电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，包括顺序连接的反应精馏装置(1)、精馏除杂装置(2)、还原装置(3)、尾气回收装置(4)和氢气提纯装置(5)；其中尾气回收装置(4)连接到精馏除杂装置(2)，氢气提纯装置(5)连接到精馏除杂装置(2)，所述各装置各自独立的包含若干个进料口和若干个出料口，前一个装置的出料口通过管道连接到后一个装置的进料口。

2.根据权利要求1所述的电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，所述反应精馏装置中包含一个反应精馏塔(1000)。

3.根据权利要求2所述的电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，所述反应精馏塔(1000)的塔身自上而下依次为上塔区(1100)、中塔区(1200)和下塔区(1300)，塔身一侧为进料侧，塔身另一侧为出料侧；所述上塔区(1100)内设第一填料区(1103)，所述中塔区(1200)为筛板区，所述下塔区(1300)内设第二填料区(1301)；所述上塔区顶部进料侧设有液体催化剂进料口(1101)，上塔区顶部回流区设有硅烷出料口(1102)，所述中塔区中部设有三氯氢硅进料口(1201)，所述下塔区底部设有液体出料口(1302)。

4.根据权利要求3所述的电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，所述第一填料区包含25～40块理论板的规整填料，所述筛板区包含30～70块塔板，所述第二填料区包含30～40块理论板的规整填料。

5.根据权利要求3所述的电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，所述液体出料口(1302)通过管道连接到闪蒸罐(1400)，所述闪蒸罐罐底设有液体催化剂出料口(1401)，所述闪蒸罐罐顶设有出料口(1402)。

6.根据权利要求3所述的电子级多晶硅的生产系统，其特征在于，所述液体催化剂进料口(1101)之前连接有液体催化剂进料罐(1500)，所述三氯氢硅进料口(1201)之前连接有三氯氢硅进料罐(1600)。