[实用新型]一种用于矩阵排列芯片的测试装置有效
申请号: | 201720068891.3 | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN206460140U | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
发明(设计)人: | 谭巧灵;李亮;赵余成;肖裕权 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京合智同创知识产权代理有限公司11545 | 代理人: | 李杰 |
地址: | 518045 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供一种用于矩阵排列芯片的测试装置,包括上料区、下料区、测试区以及横跨所述上料区、下料区、测试区的传送小车。所述测试区包括至少两个测试工位,所述测试工位内部具有对基板进行移位的传送轴,所述传送轴运动方向和所述传送小车运动方向垂直,所述搬运小车按照各测试工位的实际状态进行搬运。本实用新型实施例用以高效利用传送小车,提高芯片测试装置的产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 矩阵 排列 芯片 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种用于矩阵排列芯片的测试装置,包括上料区、下料区、测试区以及横跨所述上料区、下料区、测试区的传送小车,其特征在于,所述测试区包括至少两个测试工位,所述测试工位内部具有对基板进行移位的传送轴,所述传送轴运动方向和所述传送小车运动方向垂直,所述传送小车按照各测试工位的实际状态进行搬运。
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