[实用新型]一种抗干扰晶圆测试机外壳

摘要

本实用新型公开了一种抗干扰晶圆测试机外壳，包括本体外壳和测试机，所述本体外壳的内顶部固定连接于探针台的上端，所述探针台上安装有探针卡，所述本体外壳内底部固定连接于支柱的底端，所述支柱固定连接于测试台的下表面，所述测试台的上表面通过负压吸附固定有转接板，所述转接板上电性连接有待测晶圆，所述探针台通过屏蔽信号线电性连接于测试机，所述测试机电性连接有显示模块。本实用新型可同时对MOS产品进行多工位检测，检测效率高；可以有效的对输出电压进行稳定，减小信号震荡，有利于检测结果的准确。

主权项

一种抗干扰晶圆测试机外壳，包括本体外壳（4）和测试机（8），其特征在于：所述本体外壳（4）的内顶部固定连接于探针台（3）的上端，所述探针台（3）上安装有探针卡（2），所述本体外壳（4）内底部固定连接于支柱（7）的底端，所述支柱（7）固定连接于测试台（6）的下表面，所述测试台（6）的上表面通过负压吸附固定有转接板（5），所述转接板（5）上电性连接有待测晶圆（9），所述探针台（3）通过屏蔽信号线（10）电性连接于测试机（8），所述测试机（8）电性连接有显示模块（1）。