[实用新型]一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器

摘要

本实用新型涉及一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，属于精密加工领域。主要由精密预紧力调整单元、压电叠堆驱动器单元、直线运动单元组成。通过手动调节预紧力平台位置的方式，完成驱动器与驱动对象之间的预紧力微调，并通过压电叠堆两路信号和时序信号相结合的方式，使压电叠堆按照指定的时序完成伸长、收缩动作，以实现驱动对象的步进式运动。本实用新型可应用于显微生物技术、大规模集成电路制造、微/纳显微操作机器人、微机电系统等领域。具有结构新颖、工作稳定、控制效率高、输出行程大、输出精度高等优点。

主权项

一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，其特征在于：包括精密预紧力调整单元、压电叠堆驱动器单元、直线运动单元；其中，精密预紧力调整平台通过螺钉固定在基座(1)上，压电叠堆驱动器单元通过螺钉安装在垫块(2)上，直线运动单元通过螺钉连接，安装在基座(1)上。